跳到内容

福斯半导体金属加工液:通过ASML与DMG MORI认证的半导体加工液解决方案

半导体先进制程、EUV(极紫外光刻)设备与真空零部件加工,对耗材有着高洁净、低释气、无残留的严苛要求。加工液一旦出现元素析出、挥发物超标等问题,极易污染光刻设备与真空腔体,引发工件报废、设备停机等损失。
半导体行业耗材认证是金属加工液性能与合规性的直观体现。ASML(阿斯麦)作为半导体设备领军企业,对金属加工液的元素管控、低释气能力、光学部件兼容性设定了很高的门槛;DMG MORI(德马吉森精机)专注高端精密机床,其认证重点考核润滑冷却、乳液稳定性、刀具适配与整机兼容能力。

一、ASML认证:严控污染,适配光刻设备

ECOCOOL GLOBAL1000是福斯专为半导体、航空航天、医疗等高要求领域打造的高性能、低释气、高洁净金属加工切削液,在半导体清洁度与稳定性上表现尤为突出。
ECOCOOL GLOBAL 1000通过ASML Grade 2、Applied Materials等半导体头部设备厂商认证,完全满足高洁净加工标准。该产品能够严格控制14种HIO(氢诱导释气)元素,大幅降低污染风险EUV光刻机光学元件,保障核心设备安全;实现低释气、高清洁、无残留、易清洗,适配真空室、阀门、精密载具等关键部件,稳定保障表面光洁度与加工精度,是适配高端半导体工艺的切削液。
该款切削液不含硼、MEA单乙醇胺、二级胺、氯化石蜡、甲醛释放型杀菌剂等限用物质,符合REACH(欧盟《化学品注册、评估、授权与限制法规》)、TSCA(美国有毒物质控制法案)等全球化学品管控。此外,ECOCOOL GLOBAL 1000低气味、对皮肤无刺激,能够有效改善车间环境,降低操作人员过敏风险。其优异润滑性能,能有效延长刀具寿命、降低单件成本。
另外,福斯与DMG MORI联合开发的ECOCOOL IDM系列,也可达到ASML Grade 1标准,满足先进制程高端洁净标准,适配EUV核心配件等高精密工件。

二、DMG MORI认证:联合研发,匹配Clean ONE方案

DMG MORI 是半导体精密加工核心设备厂商,其Clean ONE方案以“设备、润滑、工艺三位一体洁净”为理念。DMG MORI与福斯达成深度战略合作,在半导体行业优先配套双方联合开发的明星产品ECOCOOL IDM系列切削液,形成 “Clean ONE 机床 + IDM系列切削液”的高洁净黄金组合。

  • ECOCOOL SCE-IDM, SCS-IDM和SCG-IDM是专为半导体高洁净要求而开发的全系列切削液产品,不含14种HIO敏感元素,满足ASML Grade 1各种要求;
  • ECOCOOL SCE-IDM, SCS-IDM推荐用于金属材料、塑料和复合材料的加工;
  • ECOCOOL SCG-IDM推荐用于技术玻璃、陶瓷及塑料加工,专为DMG MORI ULTRASONIC设备定制而开发。

三、分层产品矩阵覆盖半导体全加工场景

  • ECOCOOL GLOBAL 1000为通用主力款,适配铣削、磨削等常规工艺,多用于半导体标准精密零部件量产。
  • ECOCOOL IDM系列定位高精密切割,细分多款型号,分别适配金属、复合材料、技术玻璃与陶瓷加工,专属匹配DMG MORI高端设备。
  • 同时福斯配套NYETORR®真空润滑脂系列,产品耐温区间-75℃至250℃,低释气、稳定性强,可用于机器人轴承、线性导轨等设备部件。

高洁净、低释气、高稳定性是半导体制造的核心要求。福斯半导体金属加工液凭借ASML与DMG MORI双重认证,搭配完善的产品矩阵与联合服务体系,深度契合高洁净加工理念,覆盖零部件加工与设备运维全场景。
福斯提供通过ASML与DMG MORI认证的半导体金属加工液解决方案,如果您有产品试样、工艺优化、技术咨询或配方定制等需求,欢迎通过官网咨询渠道进一步沟通了解。
 

联系我们

电话

售前: 021-3912-2362 

售后: 400-921-3912

电子邮件

marketing@fuchs.com.cn 

也可扫码提交您的咨询问题及业务需求,我们将尽快与您联系并为您提供定制化润滑解决方案!

客服热线
售前:021-39122362 售后:400-921-3912
办公时间:

8:30 - 16:30(周一至周五)