一、ASML认证:严控污染,适配光刻设备
ECOCOOL GLOBAL1000是福斯专为半导体、航空航天、医疗等高要求领域打造的高性能、低释气、高洁净金属加工切削液,在半导体清洁度与稳定性上表现尤为突出。
ECOCOOL GLOBAL 1000通过ASML Grade 2、Applied Materials等半导体头部设备厂商认证,完全满足高洁净加工标准。该产品能够严格控制14种HIO(氢诱导释气)元素,大幅降低污染风险EUV光刻机光学元件,保障核心设备安全;实现低释气、高清洁、无残留、易清洗,适配真空室、阀门、精密载具等关键部件,稳定保障表面光洁度与加工精度,是适配高端半导体工艺的切削液。
该款切削液不含硼、MEA单乙醇胺、二级胺、氯化石蜡、甲醛释放型杀菌剂等限用物质,符合REACH(欧盟《化学品注册、评估、授权与限制法规》)、TSCA(美国有毒物质控制法案)等全球化学品管控。此外,ECOCOOL GLOBAL 1000低气味、对皮肤无刺激,能够有效改善车间环境,降低操作人员过敏风险。其优异润滑性能,能有效延长刀具寿命、降低单件成本。
另外,福斯与DMG MORI联合开发的ECOCOOL IDM系列,也可达到ASML Grade 1标准,满足先进制程高端洁净标准,适配EUV核心配件等高精密工件。
二、DMG MORI认证:联合研发,匹配Clean ONE方案
DMG MORI 是半导体精密加工核心设备厂商,其Clean ONE方案以“设备、润滑、工艺三位一体洁净”为理念。DMG MORI与福斯达成深度战略合作,在半导体行业优先配套双方联合开发的明星产品ECOCOOL IDM系列切削液,形成 “Clean ONE 机床 + IDM系列切削液”的高洁净黄金组合。
- ECOCOOL SCE-IDM, SCS-IDM和SCG-IDM是专为半导体高洁净要求而开发的全系列切削液产品,不含14种HIO敏感元素,满足ASML Grade 1各种要求;
- ECOCOOL SCE-IDM, SCS-IDM推荐用于金属材料、塑料和复合材料的加工;
- ECOCOOL SCG-IDM推荐用于技术玻璃、陶瓷及塑料加工,专为DMG MORI ULTRASONIC设备定制而开发。



